机读格式显示(MARC)

• 000 01208nam0 2200277 450

• 001 0000353359

• 005 20241221105500.0

• 010 __ |a 978-7-04-060468-9 |b 精装 |d CNY99.00

• 100 __ |a 20230901d2023 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a a z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a MEMS压力传感器理论与技术 |A MEMS ya li chuan gan qi li lun yu ji shu |b 专著 |d Theories and technologies for MEMS pressure sensors |f 蒋庄德等著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 高等教育出版社 |d 2023.08

• 215 __ |a 358页 |c 图，照片 |d 26cm

• 225 1_ |a 先进制造与智能制造前沿技术丛书 |A Xian Jin Zhi Zao Yu Zhi Neng Zhi Zao Qian Yan Ji Shu Cong Shu

• 300 __ |a 国家科学技术学术著作出版基金资助出版 “十四五”国家重点出版物出版规划项目 机械工程前沿著作系列

• 330 __ |a 本书从相关基础理论出发，论述了MEMS压力传感器的主流工艺、器件静动态测试、芯片电路等关键技术，并讨论了多种原创、特种、高端的MEMS压力传感器件。

• 333 __ |a 本书适用于传感器或MEMS领域的研究人员

• 510 1_ |a Theories and technologies for MEMS pressure sensors |z eng

• 606 0_ |a 压力传感器 |A Ya Li Chuan Gan Qi

• 690 __ |a TP212 |v 5

• 701 _0 |a 蒋庄德 |A jiang zhuang de |4 著

• 801 _0 |a CN |b GDPTC |c 20241221

• 905 __ |a GDPTC |d TP212/173