机读格式显示(MARC)
- 000 00976nam0 2200157 450
- 010 __ |a 978-7-121-44746-4 |d CNY159.00
- 200 1_ |a 微电子制造科学原理与工程技术 |A wei dian zi zhi zao ke xue yuan li yu gong cheng ji shu |b 专著 |d Fabrication engineering at the micro- and nanoscale |f (美)Stephen A. Campbell著 |g 严利人，梁仁荣译 |z eng
- 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2023.01
- 215 __ |a 11,595页 |c 图 |d 26cm
- 330 __ |a 本书对微纳制造技术的各个领域都给出了一个全面透彻的介绍，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一种单项工艺，不仅介绍了它的物理和化学原理，还描述了用于集成电路制造的工艺设备。本书新增了制作纳米集成电路及其他半导体器件所需的各种基本单项工艺，还介绍了22nm的FinFET器件、氮化镓LED及薄膜太阳能电池、新型微流体器件的制造工艺流程。