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• 200 1_ |a 微机电系统基础 |9 wei ji dian xi tong ji chu |d Foundations of MEMS |f (美)刘昶著 |g 黄庆安译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2007

• 215 __ |a 365页 |d 26cm

• 225 2_ |a 电子与电气工程丛书

• 300 __ |a 并列题名：Foundations of MEMS

• 330 __ |a 本书内容包括绪论、微制造导论、电学与机械学基本概念、静电敏感与执行原理、压阻传感器、压电敏感与执行原理、磁执行器、敏感与执行原理总结等。

• 461 _0 |1 2001 |a 电子与电气工程丛书

• 510 1_ |a Foundations of MEMS |z eng

• 606 0_ |a 微电机

• 610 0_ |a 微机电系统 |a MEMS

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _0 |c (美) |a 刘昶 |9 liu chang |4 著

• 702 _0 |a 黄庆安 |9 huang qing an |4 译

• 801 _0 |a CN |b SFT |c 20080717

• 905 __ |a GDPTC |d TM38/2

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• 999 __ |t C |A zhh |a 20080717 10:02:25 |M zhh |m 20080717 10:02:29 |G zhh |g 20080717 10:02:50