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• 005 20241221110300.0

• 010 __ |a 978-7-302-63914-5 |d CNY79.00

• 100 __ |a 20230921d2023 em y0chiy50 ea

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 高k栅介质材料与器件集成 |A gao k zha jie zhi cai liao yu qi jian ji cheng |b 专著 |f 何刚主编

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2023.08

• 215 __ |a 272页 |c 图，照片 |d 26cm

• 225 1_ |a 面向新工科的材料类基础教材丛书 |A Mian Xiang Xin Gong Ke De Cai Liao Lei Ji Chu Jiao Cai Cong Shu

• 300 __ |a 清华大学出版社“十四五”普通高等教育本科规划教材

• 330 __ |a 本书共10章，包括了集成电路的发展趋势及后摩尔时代的器件挑战，栅介质材料的基本概念及物理知识储备，栅介质材料的基本制备技术及表征方法；着重介绍了栅介质材料在不同器件中的集成应用，如高k与金属栅、场效应晶体管器件、薄膜晶体管器件、存储器件及神经形态器件等。本书包含栅介质材料的基本制备技术，同时突出了栅介质材料在器件应用中的先进性和前沿性，反映了后摩尔时代器件集成的最新研究进展。

• 333 __ |a 本书适用于材料及微电子集成相关专业的高年级本科生、研究生及从事材料与器件集成行业的科研人员

• 606 0_ |a 栅介质 |A Zha Jie Zhi |x 介质材料

• 690 __ |a TN303 |v 5

• 701 _0 |a 何刚 |A he gang |4 主编

• 801 _0 |a CN |b GDPTC |c 20241221

• 905 __ |a GDPTC |d TN303/16