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• 200 1_ |a 薄膜材料与薄膜技术 |9 bo mo cai liao yu bo mo ji shu |f 郑伟涛编著

• 205 __ |a 2版

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2008

• 215 __ |a 249页 |c 图 |d 26cm

• 330 __ |a 本书阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本原理和基本知识，介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征，对目前研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评述和展望。

• 606 0_ |a 薄膜 |x 工程材料

• 606 0_ |a 薄膜技术

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• 701 _0 |a 郑伟涛 |9 zheng wei tao |4 编著

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