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• 005 20250122131032.0

• 010 __ |a 978-7-5159-2449-6 |b 精装 |d CNY158.00

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• 200 1_ |a 高性能MEMS惯性器件技术 |A gao xing neng MEMS guan xing qi jian ji shu |b 专著 |f 刘福民[等]著

• 210 __ |a 北京 |c 中国宇航出版社 |d 2024

• 215 __ |a 406页 |c 图，照片 |d 26cm

• 300 __ |a 国家出版基金项目

• 304 __ |a 著者还有：王巍、刘国文、徐宇新

• 330 __ |a 本书从MEMS惯性器件研究和设计的角度，论述了高性能MEMS惯性器件的工作原理、误差机理、设计与工艺技术等方面的理论、方法和关键技术。全书共6章，主要包括MEMS陀螺仪和MEMS加速度计的基本原理、MEMS陀螺仪典型结构及误差机理、高性能MEMS陀螺仪关键技术、MEMS加速度计典型结构及误差机理、高性能MEMS加速度计关键技术以及高性能MEMS惯性器件工艺技术等内容。

• 606 0_ |a 微电子技术 |x 惯性元件

• 690 __ |a TN965 |v 5

• 701 _0 |a 刘福民 |A liu fu min |4 著

• 801 _2 |a CN |b 58marc.cn |c 20250301