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• 200 1_ |a 多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器 |A duo jing gui na mi bo mo ya zu shi ya li chuan gan qi |f 陆学斌著

• 210 __ |a 北京 |c 北京大学出版社 |d 2023

• 215 __ |a 160页 |c 图 |d 23cm

• 320 __ |a 有书目 (第147-160页)

• 330 __ |a 本书对多晶硅纳米薄膜的压阻特性及其在压力传感器上的应用进行了研究。本书共分为五章, 第一章主要介绍了多晶硅纳米薄膜及压力传感器的研究现状, 第二章主要介绍了工艺条件对多晶硅纳米薄膜压阻特性的影响, 第三章主要介绍了多晶硅纳米薄膜的杨氏模量, 第四章主要介绍了多晶硅纳米薄膜的压力传感器应用, 第五章主要介绍了多晶硅纳米薄膜压力传感器的测试与分析。

• 606 0_ |a 多晶 |A duo jing |x 纳米材料 |x 薄膜 |x 硅压力传感器

• 690 __ |a TP212 |v 5

• 701 _0 |a 陆学斌 |A lu xue bin |4 著

• 801 _0 |a CN |b 湖北三新 |c 20230517

• 905 __ |a GDPTC |d TP212/138