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• 010 __ |a 978-7-302-53663-5 |d CNY79.00

• 100 __ |a 20200110d2019 em y0chiy50 ea

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• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 晶圆制造中的并行机调度 |9 jing yuan zhi zao zhong de bing xing ji diao du |b 专著 |f 张洁，张朋著

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2019

• 215 __ |a 10,241页 |c 图 |d 24cm

• 225 1_ |a 排序与调度丛书 |9 pai xu yu diao du cong shu |v 7 |f 唐国春主编

• 300 __ |a “十三五”国家重点出版规划项目

• 330 __ |a 本书在介绍晶圆制造中的并行机调度问题和建模方法的基础上，分别介绍了光刻机调度方法、炉管区调度方法以及物料运输系统调度方法。同时介绍了晶圆制造中的并行机调度性能评价方法，以及原型系统的开发和应用。

• 606 0_ |a 半导体工艺 |x 自动化系统 |x 物料输送系统 |x 并行控制 |x 研究

• 690 __ |a TN305 |v 5

• 701 _0 |a 张洁 |9 zhang jie |f (1963.9-) |4 著

• 701 _0 |a 张朋 |9 zhang peng |c (机械工程) |4 著

• 801 _0 |a CN |b GDPTC |c 20210702

• 905 __ |a GDPTC |d TN305/4