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• 010 __ |a 978-7-5770-1376-3 |d CNY42.00

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• 200 1_ |a 集成电路工艺实验 |9 ji cheng dian lu gong yi shi yan |b 专著 |f 谭永胜，方泽波主编

• 210 __ |a 成都 |c 电子科技大学出版社 |d 2025

• 215 __ |a 99页 |c 图 |d 24cm

• 330 __ |a 本书按一个完整的半导体集成电路工艺过程工艺作用来讲述，将各种集成电路单项工艺分为清洗、薄膜沉积、掺杂和图形转移等几类。各部分内容是以提取重要的、有重复性和代表性的工序排成的实验项目。学生真正掌握了这些实验的方法，熟悉各大型设备的实际操作，即可在工艺线上单独流片，制造出合格的、结构较简单的集成电路芯片。

• 606 0_ |a 集成电路工艺 |9 Ji Cheng Dian Lu Gong Yi |x 实验

• 690 __ |a TN405-33 |v 5

• 701 _0 |a 谭永胜 |9 tan yong sheng |f (1980-) |4 主编

• 701 _0 |a 方泽波 |9 fang ze bo |f (1975-) |4 主编

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20250227

• 801 _2 |a CN |b O110106RET |c 20250228

• 801 _2 |a CN |b OLCC |c 20250318

• 905 __ |a GDPTC |d TN405-33/1